| 0 | 8486 | Máy và thiết bị chỉ sử dụng hoặc chủ yếu sử dụng để sản xuất các khối bán dẫn hoặc tấm bán dẫn mỏng, linh kiện bán dẫn, mạch điện tử tích hợp hoặc màn hình dẹt; máy và thiết bị nêu ở Chú giải 11 (C) của Chương này; bộ phận và phụ kiện |
| 1 | 848610 | – Máy và thiết bị để sản xuất khối hoặc tấm bán dẫn mỏng: |
| 2 | 84861010 | – – Thiết bị làm nóng nhanh tấm bán dẫn mỏng |
| 2 | 84861020 | – – Máy làm khô bằng phương pháp quay ly tâm để chế tạo tấm bán dẫn mỏng |
| 2 | 84861030 | – – Máy công cụ để gia công mọi vật liệu bằng cách bóc tách vật liệu, bằng quy trình sử dụng tia laser hoặc tia sáng khác hoặc chùm phô-tông trong sản xuất tấm bán dẫn mỏng |
| 2 | 84861040 | – – Máy và thiết bị để cắt khối bán dẫn đơn tinh thể thành các lớp, hoặc cưa miếng mỏng đơn tinh thể thành các chip |
| 2 | 84861050 | – – Máy mài, đánh bóng và phủ dùng trong chế tạo tấm bán dẫn mỏng |
| 2 | 84861060 | – – Thiết bị làm phát triển hoặc kéo khối bán dẫn đơn tinh thể |
| 2 | 84861090 | – – Loại khác |
| 1 | 848620 | – Máy và thiết bị để sản xuất linh kiện bán dẫn hoặc mạch điện tử tích hợp: |
| 2 | | – – Thiết bị tạo lớp màng mỏng: |
| 3 | 84862011 | – – – Thiết bị kết tủa khí hóa dùng cho ngành sản xuất bán dẫn |
| 3 | 84862012 | – – – Máy kết tủa epitaxi dùng cho các tấm bán dẫn mỏng; thiết bị để tạo lớp phủ nhũ tương in ảnh lên các tấm bán dẫn mỏng bằng phương pháp quay |
| 3 | 84862013 | – – – Thiết bị tạo kết tủa vật lý bằng phương pháp phun phủ lên các tấm bán dẫn mỏng; thiết bị lắng đọng vật lý dùng cho sản xuất bán dẫn |
| 3 | 84862019 | – – – Loại khác |
| 2 | | – – Thiết bị tạo hợp kim hóa: |
| 3 | 84862021 | – – – Máy cấy ghép ion cho quá trình xử lý vật liệu bán dẫn |
| 3 | 84862029 | – – – Loại khác |
| 2 | | – – Thiết bị tẩy rửa và khắc axit: |
| 3 | 84862031 | – – – Máy dùng tia sáng để làm sạch và tẩy rửa chất bẩn bám trên các đầu chân dẫn điện kim loại của các cụm linh kiện bán dẫn trước khi tiến hành điện phân; dụng cụ phun dùng để khắc axit, tẩy rửa hoặc làm sạch các tấm bán dẫn mỏng |
| 3 | 84862032 | – – – Thiết bị sử dụng cho các bản mẫu khắc khô trên vật liệu bán dẫn |
| 3 | 84862033 | – – – Thiết bị để khắc axit ướt, hiện ảnh, tẩy rửa hoặc làm sạch các tấm bán dẫn mỏng |
| 3 | 84862039 | – – – Loại khác |
| 2 | | – – Thiết bị in ly tô: |
| 3 | 84862041 | – – – Thiết bị in trực tiếp lên tấm bán dẫn mỏng |
| 3 | 84862042 | – – – Thiết bị hiệu chỉnh vị trí mẫu theo bước và lặp lại |
| 3 | 84862049 | – – – Loại khác |
| 2 | | – – Thiết bị xử lý các tấm bán dẫn mỏng đã được phơi sáng hiện ảnh: |
| 3 | 84862051 | – – – Thiết bị khắc để đánh dấu hoặc khắc vạch lên các tấm bán dẫn mỏng |
| 3 | 84862059 | – – – Loại khác |
| 2 | | – – Loại khác: |
| 3 | 84862091 | – – – Máy cắt laser để cắt các đường tiếp xúc bằng các chùm tia laser trong các sản phẩm bán dẫn |
| 3 | 84862092 | – – – Máy uốn, gấp và làm thẳng các đầu chân dẫn điện của bán dẫn |
| 3 | 84862093 | – – – Lò sấy và lò luyện dùng điện trở sử dụng trong sản xuất linh kiện bán dẫn trên các tấm bán dẫn mỏng |
| 3 | 84862094 | – – – Lò sấy và lò luyện hoạt động bằng hiệu ứng cảm ứng điện hoặc điện môi dùng cho sản xuất linh kiện bán dẫn trên các tấm bán dẫn mỏng |
| 3 | 84862095 | – – – Máy tự động dịch chuyển hoặc bóc tách các linh kiện hoặc phần tiếp xúc trên các nguyên liệu bán dẫn |
| 3 | 84862099 | – – – Loại khác |
| 1 | 848630 | – Máy và thiết bị dùng để sản xuất màn hình dẹt: |
| 2 | 84863010 | – – Thiết bị khắc axit bằng phương pháp khô lên tấm nền của màn hình dẹt |
| 2 | 84863020 | – – Thiết bị khắc axit bằng phương pháp ướt, hiện ảnh, tẩy rửa hoặc làm sạch màn hình dẹt |
| 2 | 84863030 | – – Thiết bị kết tủa và bay hơi dùng để sản xuất màn hình dẹt; thiết bị để tạo phủ lớp nhũ tương cảm quang lên các nền của màn hình dẹt bằng phương pháp quay; thiết bị tạo kết tủa vật lý lên các lớp nền của màn hình dẹt |
| 2 | 84863090 | – – Loại khác |
| 1 | 848640 | – Máy và thiết bị nêu tại Chú giải 11 (C) Chương này: |
| 2 | 84864010 | – – Máy phay bằng chùm tia ion hội tụ để sản xuất hoặc sửa chữa màn và lưới quang của các định dạng trên linh kiện bán dẫn |
| 2 | 84864020 | – – Thiết bị gắn khuôn, nối băng tự động, nối dây và bọc nhựa để lắp ráp các chất bán dẫn; máy tự động để dịch chuyển, xử lý và kẹp giữ các tấm bán dẫn mỏng, các khung miếng mỏng, hộp mỏng và vật liệu khác dùng cho thiết bị bán dẫn |
| 2 | 84864030 | – – Khuôn để sản xuất linh kiện bán dẫn |
| 2 | 84864040 | – – Kính hiển vi quang học soi nổi được lắp với thiết bị chuyên dùng để kẹp giữ và dịch chuyển tấm bán dẫn bản mỏng hoặc tấm lưới bán dẫn |
| 2 | 84864050 | – – Kính hiển vi chụp ảnh được lắp với thiết bị chuyên dùng để kẹp giữ và dịch chuyển tấm bán dẫn bản mỏng hoặc tấm lưới bán dẫn |
| 2 | 84864060 | – – Kính hiển vi điện tử được lắp với thiết bị chuyên dùng để kẹp giữ và dịch chuyển tấm bán dẫn bản mỏng hoặc tấm lưới bán dẫn |
| 2 | 84864070 | – – Thiết bị tạo mẫu dùng cho quá trình tạo màn (khuôn in) hoặc lưới quang trên các tấm nền phủ lớp cản quang trong quá trình khắc |
| 2 | 84864090 | – – Loại khác |
| 1 | 848690 | – Bộ phận và phụ kiện: |
| 2 | | – – Của máy móc và thiết bị để sản xuất khối hoặc tấm bán dẫn mỏng: |
| 3 | 84869011 | – – – Của thiết bị nung nóng nhanh tấm bán dẫn mỏng |
| 3 | 84869012 | – – – Của thiết bị làm khô bằng phương pháp quay dùng cho quá trình gia công tấm bản mỏng |
| 3 | 84869013 | – – – Của máy công cụ để gia công mọi vật liệu bằng cách bóc tách vật liệu, bằng quy trình sử dụng tia laser hoặc tia sáng khác hoặc chùm phô-tông trong sản xuất tấm bán dẫn mỏng |
| 3 | | – – – Của máy dùng để cắt khối bán dẫn đơn tinh thể thành các lớp, hoặc cưa miếng mỏng đơn tinh thể thành các chip: |
| 4 | 84869014 | – – – – Bộ phận kẹp dụng cụ và đầu cắt ren tự mở; bộ phận kẹp sản phẩm; đầu chia độ và những bộ phận phụ trợ đặc biệt khác dùng cho máy công cụ |
| 4 | 84869015 | – – – – Loại khác |
| 3 | 84869016 | – – – Của máy mài, đánh bóng và mài rà dùng cho quá trình sản xuất tấm bán dẫn mỏng |
| 3 | 84869017 | – – – Của thiết bị làm phát triển hoặc kéo dài khối bán dẫn đơn tinh thể |
| 3 | 84869019 | – – – Loại khác |
| 2 | | – – Của máy và thiết bị sản xuất linh kiện bán dẫn hoặc mạch điện tử tích hợp: |
| 3 | 84869021 | – – – Của thiết bị kết tủa và bay hơi dùng cho sản xuất bán dẫn |
| 3 | 84869022 | – – – Của máy kết tủa epitaxi dùng cho các tấm bán dẫn mỏng; của thiết bị để tạo lớp phủ nhũ tương cảm quang in ảnh lên các tấm bán dẫn mỏng bằng phương pháp quay |
| 3 | 84869023 | – – – Của máy cấy ghép ion cho quá trình xử lý vật liệu bán dẫn; của thiết bị tạo kết tủa vật lý bằng phương pháp phun phủ lên tấm bán dẫn mỏng; của thiết bị để lắng đọng vật lý cho sản xuất bán dẫn; của thiết bị ghi trực tiếp lên tấm bán dẫn mỏng, thiết bị hiệu chỉnh vị trí mẫu theo bước và lặp lại và thiết bị in ly tô khác |
| 3 | | – – – Của dụng cụ phun dùng để khắc axit, tẩy rửa hoặc làm sạch các tấm bán dẫn mỏng; của thiết bị để khắc axit ướt, hiện ảnh, tẩy rửa hoặc làm sạch các tấm bán dẫn mỏng; của các bản mẫu khắc khô trên vật liệu bán dẫn: |
| 4 | 84869024 | – – – – Bộ phận kẹp dụng cụ và đầu cắt ren tự mở; bộ phận kẹp sản phẩm; đầu chia độ và những bộ phận phụ trợ đặc biệt khác dùng cho máy công cụ |
| 4 | 84869025 | – – – – Loại khác |
| 3 | | – – – Của máy khắc để đánh dấu hoặc khắc vạch lên các tấm bán dẫn mỏng; của máy cắt laser để cắt các đường tiếp xúc bằng các chùm tia laser trong các sản phẩm bán dẫn; của máy uốn, gấp và làm thẳng các đầu chân dẫn điện của bán dẫn: |
| 4 | 84869026 | – – – – Bộ phận kẹp dụng cụ và đầu cắt ren tự mở; bộ phận kẹp sản phẩm; đầu chia độ và những bộ phận phụ trợ đặc biệt khác dùng cho máy công cụ |
| 4 | 84869027 | – – – – Loại khác |
| 3 | 84869028 | – – – Của lò sấy và lò luyện dùng điện trở sử dụng trong sản xuất linh kiện bán dẫn trên tấm bán dẫn mỏng; của lò sấy và lò luyện hoạt động bằng hiệu ứng cảm ứng điện hoặc điện môi dùng trong sản xuất linh kiện bán dẫn trên tấm bán dẫn mỏng |
| 3 | 84869029 | – – – Loại khác |
| 2 | | – – Của máy và thiết bị sản xuất màn hình dẹt: |
| 3 | 84869031 | – – – Của thiết bị để khắc axit bằng phương pháp khô lên các tấm nền của màn hình dẹt |
| 3 | | – – – Của thiết bị khắc axit bằng phương pháp ướt, máy điện ảnh, thiết bị tẩy rửa hoặc làm sạch màn hình dẹt: |
| 4 | 84869032 | – – – – Bộ phận kẹp dụng cụ và đầu cắt ren tự mở; bộ phận kẹp sản phẩm; đầu chia độ và những bộ phận phụ trợ đặc biệt khác dùng cho máy công cụ |
| 4 | 84869033 | – – – – Loại khác |
| 3 | 84869034 | – – – Của thiết bị kết tủa và bay hơi dùng để sản xuất màn hình dẹt |
| 3 | 84869035 | – – – Của thiết bị để tạo lớp phủ nhũ tương cảm quang lên tấm nền của màn hình dẹt |
| 3 | 84869036 | – – – Của thiết bị để tạo kết tủa vật lý lên các đế của màn hình dẹt |
| 3 | 84869039 | – – – Loại khác |
| 2 | | – – Của máy hoặc thiết bị nêu tại Chú giải 11 (C) của Chương này: |
| 3 | 84869041 | – – – Của máy phay bằng chùm tia ion hội tụ để sản xuất hoặc sửa chữa màn và lưới quang của các định dạng trên linh kiện bán dẫn |
| 3 | 84869042 | – – – Của thiết bị gắn khuôn, nối băng tự động, nối dây và bọc nhựa để lắp ráp các chất bán dẫn |
| 3 | 84869043 | – – – Của máy tự động để dịch chuyển, xử lý và kẹp giữ các tấm bán dẫn mỏng, các khung miếng mỏng, hộp mỏng và vật liệu khác dùng cho thiết bị bán dẫn |
| 3 | 84869044 | – – – Của kính hiển vi quang học soi nổi và kính hiển vi chụp ảnh được lắp với thiết bị chuyên dùng để kẹp giữ và dịch chuyển tấm bán dẫn bản mỏng hoặc tấm lưới bán dẫn |
| 3 | 84869045 | – – – Của kính hiển vi điện tử được lắp với thiết bị chuyên dùng để kẹp giữ và dịch chuyển tấm bán dẫn bản mỏng hoặc tấm lưới bán dẫn |
| 3 | 84869046 | – – – Của thiết bị tạo mẫu dùng cho quá trình tạo màn (khuôn in) hoặc lưới quang trên các đế phủ lớp cản quang trong quá trình khắc, kể cả mạch in đã lắp ráp |
| 3 | 84869049 | – – – Loại khác |
